UVWアライメントステージおよびXYθ（θ）ステージとも呼ばれるXXYアライメントステージは、高精度アライメント用途向けに設計されています。 XY平面内で移動し、XY平面の中心を中心に回転します。 アライメントテーブル、すなわちＸＹ回転ステージという用語は、ＸＹθステージ、ＸＹθステージまたはＵＶＷステージと互換的に使用されることが多い。
それぞれGレベル2μm、Bレベル5μm、Pレベル10μmの3つの精密グレードで10モデルがあり、これらのモデルは直線移動量±5 mmを持っています。 さらに、XXYステージはXY平面の中心を中心に最大±5度から±2度まで回転できます。水平方向の負荷は10kgから100kgです。
精密アライメント技術の応用
マイクロマシン、超精密機械加工、ナノテクノロジーおよび半導体における幅広い用途
精密アライメント技術
モーターとドライバー、高解像度精密アライメントステージ、CCDカメラと画像取得カード、画像処理アルゴリズムソフトウェアと制御。
最も重要な協定：高解像度精密アライメントステージ。
次に 、アライメントシステム上のUVW / XXYアライメントステージの移動手順を紹介します。
ステップ１： ロボットは、上部ガラス板ターゲットがＣＣＤ視野内に位置するように作業ステージ上に上部ガラス板を保持して、ターゲットの位置を決定する。
ステップ２： ロボットは下部ガラス板を保持し、下部ガラス板のターゲットがＣＣＤ視野内にあるように作業台上に置かれることを防止し、ターゲットの位置を決定する。
ステップ３： 下ガラス板ターゲットと上ガラス板ターゲットとの相対位置差に基づいて、画像処理アルゴリズムを用いて、モータを駆動するためのＵＶＷ ／ ＸＸＹステージの移動量（Ｘ、Ｙ、Φ）を算出する。下部ガラス板と上部板を作るための動き。 ガラス板は正確に整列しています。
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精度、角度、推奨荷重などに必要な技術パラメータ
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XXYシリーズ精密アライメントステージ
XXY5M-01精密アライメントステージ
GXシリーズ精密X軸電動ステージ：
GZシリーズ精密Z軸電動ステージ
GTZシリーズ精密Z軸ウェッジ昇降ステージ：
GXYシリーズ精密XY軸電動ステージ：
GXYZシリーズ精密XYZ軸電動ステージ：
GTXYZシリーズ精密XYZ軸ウェッジ電動ステージ：
