XXY300 (エクシー300)

XXY精密位置決めテーブルは、光学測定器、CCDビジュアルビット機器、LCDパネル検出、半導体加工、レーザー切断および穴あけ、フラットコーティング機、数値制御装置、研削装置、ウェーハアライメント装置、露光装置、複合機などで広く使用されています。 。

●薄型設計で省スペースを実現
3 軸コグラフィック設計により、全高が大幅に削減され、プラットフォーム全体がより軽くて薄くなり、より多くのスペースを節約できます。
●高精度です。 高い剛性。 高い安定性
G+の精密位置決めテーブルは、ペリスタルティッククロスレール、高精度クロスローラーベアリングの支持と安定した性能により、高精度、高剛性、高安定性を実現しています。