ウエハアライメントステージ

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GIGAGER XXYウエハアライメントステージXXY350-105-450、XXYアライメントステージまたはUVWステージとも呼ばれます。 ユーザーのさまざまなデザインニーズを満たすために、GIGAGERは中空デザインと中実デザインの両方を提供します。 三軸とコンパクトなデザインのため、ステージ全体の高さを大幅に減らします。
カテゴリー
多軸電動ステージ
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GIGAGER XXYウエハアライメントステージXXY350-105-450、XXYアライメントステージまたはUVWステージとも呼ばれます。 ユーザーのさまざまなデザインニーズを満たすために、GIGAGERは中空デザインと中実デザインの両方を提供します。 3軸のコンパクト設計により、全体の高さが大幅に減少し、ステージの軽量化、薄型化、省スペース化を実現しています。


1. XXYウエハアライメントステージXXY350-105-450の仕様

仕事台

350×350

精度レベル

G:2μm

基本サイズ

450×450

B:5μm

高さ

105

P:10μm

直線ストローク

±5

N / H:20μm

アクションアングル

±2.3°

ドライバーねじ

1202

アクションフラットネス

±0.03

提案する負荷

水平≦100KG

ドライバ

サーボモーター100W

表面処理

サンドブラスト処理


2. XXYウェハアライメントステージとは何ですか?

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3. GIGAGER XXYウエハアライメントステージの製品の特徴は何ですか?

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4. ギガガーXXYウエハアライメントステージの動作モード

* A、B、Cは回転軸、Dはスレーブ軸

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5. いくつのモデルが利用可能ですか?

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6. XXYウェハアライメントステージを使用できるデバイスの種類は?

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電子検査装置

多軸CNC装置



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ラミネート機

マニピュレータ



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レーザー加工装置
研磨機


ビデオリンク:https://youtu.be/N5LYWt6WYIU

その他のアプリケーションについては、GIGAGER Youtubeチャンネルをクリックしてください。https://www.youtube.com/playlist?list=PLT-2VrhPP3YItwfN_wA4YkS8bzfBpJu39


7. 自分のデバイスに適したモデルを選択する方法

機種選定のご提案につきましては、弊社技術員にご連絡ください。


8. XXYウェハアライメントステージを設置するにはどうすればいいですか?

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9. GIGAGERを選択する理由


10. よくある質問


11. 関連知識

実用新案はUVW整列プラットフォームを開示している。 UVW整列プラットフォームは、ベースと、ベース上に配置された回転シャフトと、作業テーブルと、作業テーブルとベースとの間に配置されたベアリングと、作業テーブルと回転シャフトとを接続するスライドウェイとを備える。 回転軸は、U回転軸、V回転軸、W回転軸及び協調回転軸を含む。 回転軸はモータ、軸継手およびねじ棒からなり、U回転軸、V回転軸およびW回転軸は平行にかつ同一平面内に配置されている。 UVW整列プラットホームは特別な要求の整列に適応可能であるという単純な構造、高い整列速度、高効率、強い安定性、そして強い積載量の利点を持つ。


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